Исследование зависимости формы кремниевых игл от концентрации раствора KOH при жидкостном анизотропном травлении = Investigation of the dependence of the silicon needles shape on the KOH solution concentration during wet anisotropic etching / А. В. Новак, А. М. Соколов, А. В. Румянцев, В. Р. Новак. — 1 файл (642 Кб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-3-287-297. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 287-297. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011391>.