Handbook of silicon based MEMS materials and technologies [Электронный ресурс] / Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto and Teruaki Motooka. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — (Micro & Nano Technologies). — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515944>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Yesterday
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Last 30 days
|
0
|
0
|
0
|
6
|
6
|
|
Last 365 days
|
0
|
0
|
0
|
34
|
34
|
|
All time
|
0
|
0
|
0
|
47
|
47
|
