Sarkar, Jaydeep. Sputtering materials for VLSI and thin film devices [Электронный ресурс] / Jaydeep Sarkar. — Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937>.
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
Yesterday
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Last 30 days
|
0
|
0
|
0
|
1
|
1
|
Last 365 days
|
0
|
0
|
0
|
10
|
10
|
All time
|
0
|
0
|
0
|
23
|
23
|