Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Иванов Владимир Сергеевич Scientific adviser Кириленко Демид Александрович; Родин Сергей Николаевич Other creators Каасик Владимир Паулович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects эпитаксия; GaN; селективная эпитаксия; МОСГФЭ; газофазная эпитаксия; метод ионного травления; epitaxy; selective epitaxy; MOVPE; vapor phase epitaxy; focused ion beam etching Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 03.03.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-2637-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-2637-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-2637 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.2 Mb