Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Леньшин А. С.; Пешков Я. А.; Черноусова О. В.; Канныкин С. В.; Гречкина М. В.; Минаков Д. А.; Золотухин Д. С.; Агапов Б. Л.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Оптические свойства твердых тел; пористый кремний; многослойный пористый кремний; фотолюминесценция кремния; оптические свойства кремния; режимы травления кремния; рефлектометрия; электрохимическое травление; porous silicon; multilayer porous silicon; silicon photoluminescence; optical properties of silicon; silicon etching modes; reflectometry; electrochemical etching
UDC	539.21:535
LBC	22.374
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2024-91-11-100-106
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/14766622/viewer?udb=12&page=102