Electronic Documents Search
Documents found: 3
-
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2022 Electronic publication Санкт-Петербург Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород UDC 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.08 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r22-21 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.0 Mb -
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2022 Electronic publication Санкт-Петербург Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород UDC 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.08 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r22-21 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.0 Mb -
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Other creators Краснова Надежда Константиновна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Газовый разряд; Квантовая химия; Моделирование; Травление металлов; Кремний, нитриды UDC 533.9; 537.52; 544.16; 621.794.4; 546.28'171.1 Document type Scientific report File type Other Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 03.06.01 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Rights Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141
