Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Конаков Степан Андреевич
Scientific adviser	Кржижановская Валерия Владимировна
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint	Санкт-Петербург, 2018
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	Электронные приборы — Производство - Оборудование; Осаждение (хим. ); Травление металлов; Пленки тонкие — Получение
UDC	621.793.3(043.3); 621.794.44(043.3); 539.23(043.3)
Document type	Author's Abstract
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18720/SPBPU/2/r18-45
Rights	Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение)

pdf, 1.4 Mb