Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Корнилов Роман Олегович Scientific adviser Шахмин Александр Львович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Травление металлов; Кремний UDC 533.9; 621.794.4; 546.28; 669.782 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-6240 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.2 Mb -
Creators Корнилов Роман Олегович Scientific adviser Филатов Леонид Анатольевич Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects слои диоксида кремния; химическое осаждение из газовой фазы; низкотемпературный процесс; озон; кремнийорганические соединения; silicon dioxide layers; chemical deposition from a gas phase; low-temperature process; ozone; silicon organic compounds. Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1744-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1744-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1744 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.3 Mb
