Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Тупик В. А.; Марголин В. И.; Кострин Д. К.; Фармаковский Б. Ф.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; металлические пленки; наноразмерные пленки; тонкие наноразмерные пленки; маскирующие рисунки (физика); ионно-электронная эмиссия; электронная литография; тлеющие газовые разряды
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17580/tsm.2024.04.04
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/article/97041172/viewer?udb=12