Electronic Documents Search

Documents found: 3

1

Управление составом тонких пленок Mo-Si-N-O при реактивном магнетронном распылении // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 6. — С. 745-761

Creators	Громов Д. Г.; Гаврилов С. А.; Лебедев Е. А.; Силибин М. В.; Дубков С. В.; Аникин А. В.; Погалов А. И.; Дронова Д. А.; Бутманов Д. Д.; Ширяев М. Е.; Громов В. Д.; Рязанов Р. М.; Шарипов Р. А.; Беспалов В. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; тонкие пленки; состав тонких пленок; управление составом пленок; магнетронное распыление; реактивное распыление; фазосдвигающие фотошаблоны (физика); нитридизация; thin films; composition of thin films; film composition control; magnetron sputtering; reactive sputtering; phase-shifting photomasks (physics); nitridization
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-6-745-761
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172126

Моделирование дифракционных эффектов при использовании фазосдвигающих слоев в фотолитографии // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2024. – Т. 29, № 6. — С. 736-751

Creators	Лавров И. В.; Дронова Д. А.; Силибин М. В.; Аникин А. В.; Дубков С. В.; Лебедев Е. А.; Шарипов Р. А.; Вигдорович Е. Н.; Громов Д. Г.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Геометрическая оптика. Оптические приборы; дифракционные эффекты; моделирование дифракционных эффектов; фазосдвигающие слои; фотолитография; фотошаблоны; фурье-оптика; контрастность; diffraction effects; modeling of diffraction effects; phase shifting layers; photolithography; photo templates; fourier optics; contrast ratio
UDC	535.31
LBC	22.342
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-6-736-751
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75220369

Электрофоретическое осаждение композитного электродного материала суперконденсатора из малослойных графитовых фрагментов и Ni(OH)[2] // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 3. — С. 290-307

Creators	Алексеев А. В.; Каковкина Ю. И.; Кузьмин Д. А.; Рязанов Р. М.; Столбов Д. Н.; Лебедев Е. А.; Громов Д. Г.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Химия; Электрохимия; электрофоретическое осаждение; электродные материалы; суперконденсаторы; графитовые фрагменты; малослойные графитовые фрагменты; электрофорез; планарные суперконденсаторы; electrophoretic deposition; electrode materials; supercapacitors; graphite fragments; low-layer graphite fragments; electrophoresis; planar supercapacitors
UDC	544.6
LBC	24.57
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-3-290-307
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49248969

1