Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Расчет формы границы раздела между раплавом и кристаллом кремния в промышленной установке // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года. – Физико-механический факультет, Институт интеллектуальных систем и технологий и факультет медицинской физики и биоинженерии. — Ч.5

Creators	Луканина М. А.; Калаев В. В.
Other creators	Глухов Владимир Викторович
Organization	Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург); СПбГПУ. Физико-механический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	Санкт-Петербург, 2002
Collection	Общая коллекция
Subjects	полупроводниковая промышленность; монокристаллы; установка Чохральского; численное моделирование
UDC	662.642:621.926.7
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 111 Kb

1