Electronic Documents Search

Documents found: 2

1

Ионное легирование карбида кремния в технологии приборов силовой электроники: обзор // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 4. — С. 439-462

Creators	Афанасьев А. В.; Ильин В. А.; Лучинин В. В.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Энергетика; Полупроводниковые материалы и изделия; карбид кремния; ионное легирование; силовая электроника; приборы силовой электроники; обзоры; ионная имплантация; активационный отжиг; silicon carbide; ion doping; power electronics; power electronics devices; reviews; ion implantation; activation annealing
UDC	621.315.592
LBC	31.233
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-4-439-462
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49396190

Оптический контроль параметров подложек и эпитаксиальных структур карбида кремния // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 2. — С. 175-186

Creators	Лучинин В. В.; Панов М. Ф.; Павлова М. В.; Рыбка Ф. Е.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Электроника в целом; карбид кремния; эпитаксиальные структуры; оптический контроль; кремний; ИК-отражение; фотоны; монокристаллы; silicon carbide; epitaxial structures; optical control; silicon; IR reflection; photons; single crystals
UDC	621.38
LBC	32.85
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-2-175-186
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48315869

1