Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Пакконен А. В.; Пятышев Е. Н.
Other creators	Глухов Владимир Викторович
Organization	Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Радиофизический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	СПб., 2002
Collection	Общая коллекция
Subjects	микротехнология; калибровочная течь; микроэлектромеханические системы; течеискатели; групповой метод; тонкие пленки; мембраны
UDC	621.3
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 61 Kb