Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Шеляпина Софья Алексеевна Scientific adviser Кириленко Демид Александрович; Брунков Павел Николаевич Other creators Каасик Владимир Паулович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects сканирующая зондовая микроскопия; атомно-силовая микроскопия; электростатическая силовая микроскопия; сканирующая емкостная микроскопия; лазерное легирование; кремний; структура металл-оксид-полупроводник; scanning probe microscopy; atomic force microscopy; electrostatic force microscopy; scanning capacitance microscopy; laser doping; silicon; metal-oxide-semiconductor structure Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 03.03.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3028-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3028-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-3028 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.1 Mb