Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Creators Lindroos Veikko; Tilli Markku; Lehto Ari; Motooka Teruaki Imprint Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011 Collection Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция Subjects Кремний — Электрические свойства; Микроэлектронная аппаратура; Материалы UDC 548.28:537(035); 621.382.049.77(035); 620.22(035) Document type Other File type Other Language English Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование) https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515944