Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Захарова Ирина Борисовна; Елистратова Марина Анатольевна
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint	Санкт-Петербург, 2024
Collection	Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects	Литография электронная; оптическая литография; планарная технология; интегральная электроника; учебники и пособия для вузов
UDC	621.3.049.75:776(075.8)
Document type	Tutorial
File type	PDF
Language	Russian
Speciality code (FGOS)	11.03.04
Speciality group (FGOS)	110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI	10.18720/SPBPU/5/tr24-74
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 2.0 Mb