Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Разработка и создание прототипа универсальной установки плазмохимического травления различных материалов электронной техники: выпускная квалификационная работа магистра: 15.04.03 - Прикладная механика ; 15.04.03_04 - Технологии виртуального инжиниринга

Creators	Осипов Артём Арменакович
Scientific adviser	Кузин Алексей Константинович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2019
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Промышленное оборудование; Плазмохимия; Травление металлов; моделирование физико-химических процессов; разработка концепции; создание оборудования; плазмохимическое травление
UDC	544.55:621.794.4
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	15.04.03
Speciality group (FGOS)	150000 - Машиностроение
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr18-271
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 3.3 Mb

1