Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие. — 3-е изд.
Creators Галперин В. А.; Данилкин Е. В.; Мочалов А. И. Imprint Москва: Лаборатория знаний, 2015 Collection ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция Subjects Травление металлов; Микроэлектроника UDC 621.794.4(075.8); 621.38.049.77(075.8) Document type Tutorial File type Other Language Russian Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=335339 -
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие. — 3-е изд.
Creators Галперин В. А.; Данилкин Е. В.; Мочалов А. И. Imprint Москва: Лаборатория знаний, 2015 Collection ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция Subjects Травление металлов UDC 621.794.4(075.8) Document type Tutorial File type Other Language Russian Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350091
