Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Разработка технологии плазмохимического травления для формирования вертикальных структур: выпускная квалификационная работа магистра: направление 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.04.01_01 «Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники»

Creators	Корнилов Роман Олегович
Scientific adviser	Шахмин Александр Львович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2023
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Плазма (физ.); Травление металлов; Кремний
UDC	533.9; 621.794.4; 546.28; 669.782
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.01
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
DOI	10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-6240
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 3.2 Mb

1