Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Разработка технологии получения покрытий карбидоподобных материалов из плазмы диэлектрического барьерного разряда при атмосферном давлении: выпускная квалификационная работа магистра: направление 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.04.01_01 «Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники»

Creators	Мелконян Паруйр Севакович
Scientific adviser	Шахмин Александр Львович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2023
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	диэлектрический барьерный разряд; атмосферное давление; тонкие пленки; плазмохимическое осаждение из газовой фазы; карбид кремния; оксид кремния; рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия; инфракрасная Фурье-спектроскопия; dielectric barrier discharge; atmospheric pressure; thin films; plasma enhanced chemical vapour deposition; silicon carbide; silicon oxide; x-ray photoelectron spectroscopy; fourier-transform infrared spectroscopy
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.01
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
DOI	10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-5667
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать)

pdf, 2.4 Mb

1