Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Александров Сергей Евгеньевич; Уваров Андрей Анатольевич
Organization	Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint	Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2012
Electronic publication	Санкт-Петербург, 2020
Collection	Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects	Вакуумное оборудование; Плазмохимия
UDC	621.52(075.8); 533.9(075.8)
Document type	Tutorial
File type	PDF
Language	Russian
Speciality code (FGOS)	22.00.00
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
DOI	10.18720/SPBPU/2/si20-676
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 16.2 Mb