Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Петрушков М. О.; Аксенов М. С.; Богомолов Д. Б.; Емельянов Е. А.; Протасов Д. Ю.; Путято М. А.; Чистохин И. Б.; Преображенский В. В.; Гилинский А. М.; Воропаев К. О.
Organization	"Фотоника-2023", российская конференция и школа молодых учёных
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Энергетика; Полупроводниковые материалы и изделия; эпитаксиальные слои; легирование цинком; планарные источники; диффузия легирующей примеси; лавинные фотодиоды; вольт-фарадное профилирование; термический отжиг; epitaxial layers; zinc alloying; planar sources; diffusion of dopant; avalanche photodiodes; volt-farad profiling; thermal annealing
UDC	621.315.592
LBC	31.233
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2024-91-02-40-49
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/13195682/viewer?udb=12&page=43