Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Оптическая литография в УФ и ВУФ диапазоне: учебное пособие
Creators Захарова Ирина Борисовна; Елистратова Марина Анатольевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2024 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Литография электронная; оптическая литография; планарная технология; интегральная электроника; учебники и пособия для вузов UDC 621.3.049.75:776(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 11.03.04 Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи DOI 10.18720/SPBPU/5/tr24-74 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 2.0 Mb -
Creators Смирнов Семен Денисович Scientific adviser Кобзев Владимир Васильевич Other creators Смирнова Анна Михайловна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт промышленного менеджмента, экономики и торговли Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Электроника; Литография электронная; наноиндустрия; нанотехнологии; оценка экономической эффективности; анализ отраслевых сегментов экономики; организация внедрения; проект технического перевооружения производства; нанолитография LBC 65.012.12; 65.2/4 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 38.04.02 Speciality group (FGOS) 380000 - Экономика и управление Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-6132-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-6132-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-6132-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-6132 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb
