Electronic Documents Search

Documents found: 18

1
2

Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов: специальность 01.04.08 "Физика плазмы": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Creators	Барсуков Юрий Владимирович
Scientific adviser	Смирнов Александр Сергеевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint	Санкт-Петербург, 2022
Electronic publication	Санкт-Петербург
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород
UDC	533.9; 546.28'171.1; 621.794.4
Document type	Author's Abstract
File type	PDF
Language	Russian
Speciality code (OKSVNK)	01.04.08
Speciality group (OKSVNK)	010000 - Физико-математические науки
DOI	10.18720/SPBPU/2/r22-21
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение)

pdf, 1.0 Mb

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие. — 3-е изд.

Creators	Галперин В. А.; Данилкин Е. В.; Мочалов А. И.
Imprint	Москва: Лаборатория знаний, 2015
Collection	ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Subjects	Травление металлов; Микроэлектроника
UDC	621.794.4(075.8); 621.38.049.77(075.8)
Document type	Tutorial
File type	Other
Language	Russian
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=335339

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие. — 3-е изд.

Creators	Галперин В. А.; Данилкин Е. В.; Мочалов А. И.
Imprint	Москва: Лаборатория знаний, 2015
Collection	ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Subjects	Травление металлов
UDC	621.794.4(075.8)
Document type	Tutorial
File type	Other
Language	Russian
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350091

Исследование морфологии и профиля травления сквозных отверстий в подложке карбида кремния в технологии мощных транзисторов на основе гетероструктур AlGaN/GaN/SiC: магистерская диссертация: 22.04.01

Creators	Каракчиев Сергей Валерьевич
Scientific adviser	Соловьев Юрий Владимирович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2017
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Кремний, карбиды; Травление металлов; Полупроводниковые приборы сверхвысокочастотные; транзисторы
UDC	621.794.4(043.3)
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.01
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
DOI	10.18720/SPBPU/2/v17-3424
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 3.4 Mb

Основы процессов плазмохимического травления: учебное пособие

Creators	Александров Сергей Евгеньевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint	Санкт-Петербург, 2020
Collection	Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects	Плазмохимия; Травление металлов
UDC	621.794.44(075.8)
Document type	Tutorial
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18720/SPBPU/2/s20-26
Rights	Доступ из локальной сети ИБК СПбПУ (чтение)

pdf, 2.5 Mb

Гальванотехника. Анодные процессы: электронное учебное пособие

Creators	Мирзоев Рустам Аминович
Imprint	СПб., 2011
Collection	Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects	Электрохимическая обработка металлов; Анодно-механическая обработка металлов; Гальванотехника; Оксидирование; Травление металлов
UDC	621.357(075.8)
Document type	Tutorial
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Доступ из локальной сети ИБК СПбПУ (чтение, печать)

pdf, 5.2 Mb

Плазменные процессы роста и травления нитридных материалов: специальность 01.04.08 "Физика плазмы": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Creators	Барсуков Юрий Владимирович
Scientific adviser	Смирнов Александр Сергеевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint	Санкт-Петербург, 2022
Electronic publication	Санкт-Петербург
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород
UDC	533.9; 546.28'171.1; 621.794.4
Document type	Author's Abstract
File type	PDF
Language	Russian
Speciality code (OKSVNK)	01.04.08
Speciality group (OKSVNK)	010000 - Физико-математические науки
DOI	10.18720/SPBPU/2/r22-21
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение)

pdf, 1.0 Mb

Выявление границ бывшего аустенитного зерна в сталях мартенситно-бейнитного класса: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.02 - Металлургия ; 22.04.02_06 - Материаловедение, технология получения и обработки металлических материалов со специальными свойствами

Creators	Богункова Мария Александровна
Scientific adviser	Петров Сергей Николаевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2018
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Аустенит; Сталь малоуглеродистая; Электроны — Дифракция; Травление металлов
UDC	669.112.227.1
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.02
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-2130-o.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/2/v18-2130
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 4.2 Mb

Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06

Creators	Конаков Степан Андреевич
Scientific adviser	Кржижановская Валерия Владимировна
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint	Санкт-Петербург, 2018
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	Электронные приборы — Производство - Оборудование; Осаждение (хим. ); Травление металлов; Пленки тонкие — Получение
UDC	621.793.3(043.3); 621.794.44(043.3); 539.23(043.3)
Document type	Author's Abstract
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18720/SPBPU/2/r18-45
Rights	Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение)

pdf, 1.4 Mb

Разработка и создание прототипа универсальной установки плазмохимического травления различных материалов электронной техники: выпускная квалификационная работа магистра: 15.04.03 - Прикладная механика ; 15.04.03_04 - Технологии виртуального инжиниринга

Creators	Осипов Артём Арменакович
Scientific adviser	Кузин Алексей Константинович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2019
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Промышленное оборудование; Плазмохимия; Травление металлов; моделирование физико-химических процессов; разработка концепции; создание оборудования; плазмохимическое травление
UDC	544.55:621.794.4
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	15.04.03
Speciality group (FGOS)	150000 - Машиностроение
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr18-271-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr18-271
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 3.3 Mb

1
2