Electronic Documents Search

Documents found: 48

Исследование и разработка процесса глубокого анизотропного плазменного травления кремния со сниженной шероховатостью боковых стенок структур // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 6. — С. 762-772

Creators	Голишников А. А.; Дюжев Н. А.; Парамонов В. В.; Потапенко И. В.; Путря М. Г.; Сомов Н. М.; Чаплыгин Ю. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; плазменное травление; анизотропное плазменное травление; кремний; глубокое плазменное травление; боковые структурные стенки; шероховатость боковых стенок (физика); сниженная шероховатость стенок; plasma etching; anisotropic plasma etching; silicon; deep plasma etching; side structural walls; side wall roughness (physics); reduced wall roughness
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-6-762-772
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172133

Комплекс сверхвысокочастотной диагностики холодных атмосферных плазменных струй // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 11. — С. 1445-1448

Creators	Астафьев А. М.; Альтмарк А. М.; Лесив Н. А.; Чирцов А. С.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; плазменные струи; атмосферные плазменные струи; холодные плазменные струи; диагностика плазменных струй; сверхвысокочастотная диагностика; комплексы сверхвысокочастотной диагностики; СВЧ резонаторы; проводимость плазменных струй
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.61011/OS.2023.11.56997.5021-23
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=60019292

Оценка скорости ударно-радиационной рекомбинации двукратно заряженного иона Ne{++} по результатам спектроскопического эксперимента // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 11. — С. 1537-1543

Creators	Иванов В. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; заряженные ионы; двукратно заряженные ионы; ударно-радиационные рекомбинации; оценка скорости рекомбинаций; спектроскопические эксперименты; диэлектрические барьерные разряды; распадающаяся плазма; кинетическая спектроскопия
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.61011/OS.2023.11.57022.5370-23
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=60019317

Испарение оксидов кремния и титана при плазменно-дуговом плавлении кварц-лейкоксена // Физика и химия обработки материалов: научно-технический журнал. – 2022. – № 5. — С. 12-20

Creators	Николаев А. А.; Николаев А. В.; Кирпичёв Д. Е.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; плазменно-дуговое плавление; кварц-лейкоксен; титан (химия); испарение титана; испарение оксидов кремния; кремний; синтетический рутил; plasma arc melting; quartz-leucoxene; titanium (chemistry); titanium evaporation; evaporation of silicon oxides; silicon; synthetic rutile
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.30791/0015-3214-2022-5-12-20
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49580194

Спектры излучения воздуха низкого давления при диффузном стримерном разряде // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 12. — С. 1769-1777

Creators	Тарасенко В. Ф.; Бакшт Е. Х.; Виноградов Н. П.; Сорокин Д. А.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; стримерные разряды; излучение плазмы; диффузные стримерные разряды; воздух низкого давления; спектры излучения; молекулярные полосы; спектральные свойства плазмы
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2022.12.54080.4014-22
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50009743

Расчет ключевых параметров плазмы многозарядных ионов при воздействии внешнего лазерного импульса // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Физико-математические науки. – 2022. – Т. 15, № 4. — С. 44-54

Creators	Тимшина М. В.; Калинин Н. В.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; плазма; параметры плазмы; многозарядные ионы; расчет параметров плазмы; лазерные импульсы; внешние лазерные импульсы; радиационно-гидродинамические модели; plasma; plasma parameters; multicharged ions; calculation of plasma parameters; aser pulses; external laser pulses; radiation-hydrodynamic models
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18721/JPM.15403
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 0.7 Mb

Исследование эволюции структурно-фазового состояния образцов сплава W - Сu в графитовой оболочке в процессе вакуумных отжигов и воздействия высокотемпературной плазмы // Физика и химия обработки материалов: научно-технический журнал. – 2023. – № 2. — С. 33-39

Creators	Вагин В. П.; Манохин С. С.; Гусаков М. С.; Суриков Е. В.; Яновский Л. С.; Кондратьев Д. М.; Колобов Ю. Р.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; сплавы; графитовые оболочки; вакуумный отжиг; структурно-фазовые состояния; высокотемпературная плазма; псевдосплавы; пористость псевдосплавов; alloys; graphite shells; vacuum annealing; structural-phase states; high temperature plasma; pseudo alloys; porosity of pseudo-alloys
UDC	539.2; 533.9
LBC	22.37; 22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.30791/0015-3214-2023-2-33-39
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50767267

Повреждаемость поверхностного слоя сплава Инконель 718 импульсными пучково-плазменными потоками // Физика и химия обработки материалов: научно-технический журнал. – 2023. – № 2. — С. 5-17

Creators	Боровицкая И. В.; Демин А. С.; Комолова О. А.; Латышев С. В.; Масляев С. А.; Монахов И. С.; Морозов Е. В.; Пименов В. Н.; Сасиновская И. П.; Бондаренко Г. Г.; Гайдар А. И.; Логачев И. А.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Технология металлов; Металлургия цветных металлов; Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; сплавы; Инконель 718; поверхностные слои сплавов; повреждаемость поверхностных слоев; пучково-плазменные потоки; импульсные потоки; гелиевая плазма; alloys; Inconel 718; surface layers of alloys; damage to surface layers; beam-plasma flows; pulse flows; helium plasma
UDC	669.21.8; 533.9
LBC	34.33; 22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.30791/0015-3214-2023-2-5-17
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=50767262

Оценка эффективной площади рассеяния осесимметричного проницаемого плазмоида // Инженерная физика. – 2024. – № 3. — С. 24-28

Creators	Наумов Н. Д.; Петровский В. П.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; проницаемые плазмоиды; осесимметричные плазмоиды; площадь рассеяния плазмоидов; принцип Гюйгенса; Гюйгенса принцип; радиоволны; permeable plasmoids; axisymmetric plasmoids; plasmoid scattering area; Huygens principle; principle Huygens; radio waves
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.25791/infizik.3.2024.1392
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=64005954

Сравнительный анализ структуры и свойств керамик на основе оксида алюминия, полученных методами свободного и электроимпульсного плазменного спекания // Физика и химия обработки материалов. – 2024. – № 1. — С. 14-29

Creators	Болдин М. С.; Тихонова Д. А.; Боркова А. Д.; Удачин С. И.; Ланцев Е. А.; Воронин А. В.; Мурашов А. А.; Белкин О. А.; Нохрин А. В.; Чувильдеев В. Н.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; Химическая технология; Керамические изделия; керамики; свойства керамик; структура керамик; оксид алюминия; плазменное спекание; электроимпульсное спекание; плотность оксида алюминия; ceramics; properties of ceramics; structure of ceramics; aluminum oxide; plasma sintering; electric pulse sintering; density of aluminum oxide
UDC	533.9; 666.29
LBC	22.333; 35.42
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.30791/0015-3214-2024-1-14-29
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=65311571