Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Ионное легирование карбида кремния в технологии приборов силовой электроники: обзор // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 4. — С. 439-462

Creators	Афанасьев А. В.; Ильин В. А.; Лучинин В. В.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Энергетика; Полупроводниковые материалы и изделия; карбид кремния; ионное легирование; силовая электроника; приборы силовой электроники; обзоры; ионная имплантация; активационный отжиг; silicon carbide; ion doping; power electronics; power electronics devices; reviews; ion implantation; activation annealing
UDC	621.315.592
LBC	31.233
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-4-439-462
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49396190

1