Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Кочурина Е. С.; Боев Л. Р.; Зарянкин Н. М.; Анчутин Н. М.; Дернов И. С.; Тимошенков А. С.; Тимошенков С. П.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Энергетика; Детали и узлы электрических аппаратов; Радиоэлектроника; Кибернетика; датчики ударов; микромеханические датчики; чувствительные элементы датчиков; изготовление элементов датчиков; кремний на изоляторе; глубокое травление кремния; эвтектические соединения; impact sensors; micromechanical sensors; sensor sensing elements; manufacturing of sensor elements; silicon on insulator; deep etching of silicon; eutectic compounds
UDC	621.3; 681.5
LBC	31.264.-04; 32.81
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-1-79-88
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=61486467