Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Характеристики и области возможных применений аморфных кремний-углеродных и металл-кремний-углеродных пленок: обзор // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 1. — С. 24-48

Creators	Дмитриев В. К.; Ильичев Э. А.; Кирпиленко Г. Г.; Петрухин Г. Н.; Рычков Г. С.; Фролов В. Д.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; обзоры; углеродные пленки; металл-кремниевые пленки; аморфные кремниевые пленки; характеристики углеродных пленок; аллотропные соединения углерода; графеновые пленки; reviews; carbon films; metal-silicon films; amorphous silicon films; characteristics of carbon films; allotropic carbon compounds; graphene films
UDC	539.2
LBC	22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-1-24-48
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=50308497

1