Electronic Documents Search

Documents found: 11

Creators	Румянцев А. В.; Боргардт Н. И.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях; кремний; диоксид кремния; распыление кремния; ионные пучки; фокусированные ионные пучки; монокристаллический кремний; термический диоксид кремния; silicon; silicon dioxide; silicon spraying; ion beams; focused ion beams; monocrystalline silicon; thermal silicon dioxide
UDC	537.533/534
LBC	22.338
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-1-30-41
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=61486462