Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Design and manufacturing of active microsystems
Other creators Büttgenbach Stephanus; Burisch Arne; Hesselbach Jürgen Imprint Berlin, Heidelberg: Springer, 2011 Collection Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция Subjects Микроэлектроника; magnetic microsystems; mechanical micromaching; microactuators; магнитные микросистемы; механическая микрообработка; микроприводы UDC 621.38.049.77 Document type Other File type Other Language English Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование) https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-642-12903-2
