Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

The thermoelastic stresses during laser annealing of titanium dioxide on a sapphire substrate // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Физико-математические науки. – 2022. – Т. 15, № 3. — С. 100-110

Creators	Klunnikova YU. V.; Anikeev M. V.; Filimonov A. V.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; thermomechanical models; thermoelastic stresses; laser annealing; titanium dioxide; sapphire substrates (technique); numerical methods; titanium oxide films; термоупругие напряжения; лазерный отжиг; диоксид титана; сапфировые подложки (техника); численные методы; пленки оксида титана; термомеханические модели
UDC	621.382
LBC	32.852
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	English
DOI	10.18721/JPM.15308
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.3 Mb

1