Electronic Documents Search
Documents found: 3
-
Creators Алиев А. В.; Еперин А. П.; Лексютин В. Ю.; Щукин А. А. Organization Институт ядерной энергетики ( филиал ) СПбГПУ в г. Сосновый бор Imprint Санкт-Петербург, 2003 Collection Общая коллекция Subjects контур охлаждения; моделирующая программа; лабораторные занятия; технологические режимы Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 132 Kb -
Creators Некрасова Т. П.; Феоктистов Н. В. Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет Imprint Санкт-Петербург, 2003 Collection Общая коллекция Subjects технологические режимы; экономический выигрыш; современные технологии; рыночные отношения Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 134 Kb -
Creators Джусупов Тимур Алиханович Scientific adviser Таганцев Дмитрий Кириллович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects ионный источник; ионно-лучевое травление; производство полупроводниковых приборов; фотошаблон; фокусированный ионный пучок; технологические режимы; ion source; ion beam etching; photomask; semiconductor manufacturing; focused ion beam; technological modes Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4344 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.9 Mb
