Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Разработка процесса фотолитографии для изготовления гибкого тонкопленочного термоэлектрического генератора // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 5. — С. 591-602

Creators	Терехов Д. Ю.; Пепеляев Д. В.; Якубов А. О.; Бабич А. В.; Шерченков А. А.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Фотоэлектрические приборы; термоэлектрические генераторы; тонкопленочные термоэлектрические генераторы; гибкие термоэлектрические генераторы; фотолитография; тонкопленочные термоэлементы; стенды для экспонирования рисунков; электронные фотошаблоны; thermoelectric generators; thin-film thermoelectric generators; flexible thermoelectric generators; photolithography; thin-film thermoelements; stands for exhibiting drawings; electronic photo templates
UDC	621.383
LBC	32.854
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-5-591-602
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49562234

1