Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Исследование процесса многослойного роста поликристаллических кремниевых слоев для управления деформацией кремниевых структур в технологии химического газового транспорта // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2024. – Т. 29, № 6. — С. 715-723

Creators	Тарасов Д. В.; Соколов Е. М.; Гаврилов С. А.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Химия; Химические элементы и их соединения; кремний; поликристаллический кремний; кремниевые структуры; деформация кремниевых структур; управление деформацией; химический газотранспортный перенос; диэлектрическая изоляция; silicon; polycrystalline silicon; silicon structures; deformation of silicon structures; warp control; chemical gas transmission; dielectric insulation
UDC	546
LBC	24.12
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-6-715-723
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=75220367

1