Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Исследование зависимости формы кремниевых игл от концентрации раствора KOH при жидкостном анизотропном травлении // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 3. — С. 287-297

Creators	Новак А. В.; Соколов А. М.; Румянцев А. В.; Новак В. Р.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; Техника; Материаловедение; кремниевые иглы; формы кремниевых игл; раствор гидроксида калия; концентрация раствора KOH; анизотропное травление; жидкостное травление; кантилеверы; silicon needles; silicon needle molds; potassium hydroxide solution; KOH solution concentration; anisotropic etching; liquid etching; cantilevers
UDC	539.2; 620.1/2
LBC	22.37; 30.3
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-3-287-297
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011391

1