Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Кочурина Е. С.; Боев Л. Р.; Зарянкин Н. М.; Анчутин Н. М.; Дернов И. С.; Тимошенков А. С.; Тимошенков С. П. Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Энергетика; Детали и узлы электрических аппаратов; Радиоэлектроника; Кибернетика; датчики ударов; микромеханические датчики; чувствительные элементы датчиков; изготовление элементов датчиков; кремний на изоляторе; глубокое травление кремния; эвтектические соединения; impact sensors; micromechanical sensors; sensor sensing elements; manufacturing of sensor elements; silicon on insulator; deep etching of silicon; eutectic compounds UDC 621.3; 681.5 LBC 31.264.-04; 32.81 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2024-29-1-79-88 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://elibrary.ru/item.asp?id=61486467 -
Creators Тимошенков С. П.; Тимошенков А. С.; Анчутин С. А.; Кочурина Е. С.; Дернов И. С.; Мусаткин А. С.; Лебедев А. А. Imprint 2023 Collection Общая коллекция Subjects Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; МЭМС-датчики; микроэлектромеханические системы; чувствительные элементы датчиков; колебательные контуры; добротность колебательных контуров; вакуумирование; степень вакуумирования; MEMS sensors; microelectromechanical systems; sensor sensing elements; oscillating circuits; Q-factor of oscillatory circuits; vacuuming; degree of vacuuming UDC 621.382 LBC 32.852 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-5-642-648 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54683307
