Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Оптический контроль параметров подложек и эпитаксиальных структур карбида кремния // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 2. — С. 175-186

Creators	Лучинин В. В.; Панов М. Ф.; Павлова М. В.; Рыбка Ф. Е.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Электроника в целом; карбид кремния; эпитаксиальные структуры; оптический контроль; кремний; ИК-отражение; фотоны; монокристаллы; silicon carbide; epitaxial structures; optical control; silicon; IR reflection; photons; single crystals
UDC	621.38
LBC	32.85
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-2-175-186
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48315869

1