Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Йе Ко Ко Аунг; Симонов Б. М.; Тимошенков С. П. Imprint 2022 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Физические приборы и методы физического эксперимента; акселерометры; микромеханические емкостные акселерометры; чувствительные элементы акселерометров; анализ усталости акселерометров; надежность акселерометров; интенсивность отказов акселерометров; МЭМС-устройства; accelerometers; micromechanical capacitive accelerometers; accelerometer sensing elements; accelerometer fatigue analysis; accelerometer reliability; accelerometer failure rate; MEMS devices UDC 53.07 LBC 22.3с Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-2-240-247 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48315875 -
Creators Кочурина Е. С.; Анчутин С. А.; Калугин В. В.; Зарянкин Н. М.; Тимошенков А. С.; Дернов И. С. Imprint 2022 Collection Общая коллекция Subjects Механика; Измерение механических и геометрических величин; акселерометры; микромеханические акселерометры; чувствительные элементы акселерометров; анизотропное травление; анизотропное жидкостное травление; сигма-дельта-преобразователи; кристаллографические плоскости; accelerometers; micromechanical accelerometers; accelerometer sensing elements; anisotropic etching; anisotropic liquid etching; sigma-delta converters; crystallographic planes UDC 531.7 LBC 22.21 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-1-59-67 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=47983441
