Electronic Documents Search

Documents found: 3

1

Разработка чувствительного элемента микромеханического акселерометра // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 1. — С. 59-67

Creators	Кочурина Е. С.; Анчутин С. А.; Калугин В. В.; Зарянкин Н. М.; Тимошенков А. С.; Дернов И. С.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Механика; Измерение механических и геометрических величин; акселерометры; микромеханические акселерометры; чувствительные элементы акселерометров; анизотропное травление; анизотропное жидкостное травление; сигма-дельта-преобразователи; кристаллографические плоскости; accelerometers; micromechanical accelerometers; accelerometer sensing elements; anisotropic etching; anisotropic liquid etching; sigma-delta converters; crystallographic planes
UDC	531.7
LBC	22.21
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-1-59-67
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=47983441

Исследование зависимости формы кремниевых игл от концентрации раствора KOH при жидкостном анизотропном травлении // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 3. — С. 287-297

Creators	Новак А. В.; Соколов А. М.; Румянцев А. В.; Новак В. Р.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; Техника; Материаловедение; кремниевые иглы; формы кремниевых игл; раствор гидроксида калия; концентрация раствора KOH; анизотропное травление; жидкостное травление; кантилеверы; silicon needles; silicon needle molds; potassium hydroxide solution; KOH solution concentration; anisotropic etching; liquid etching; cantilevers
UDC	539.2; 620.1/2
LBC	22.37; 30.3
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-3-287-297
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011391

Разработка технологии глубокого анизотропного плазмохимического травления кремния: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники»

Creators	Гагаева Алина Евгеньевна
Scientific adviser	Осипов Артём Арменакович
Other creators	Филатов Леонид Анатольевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2021
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	плазмохимическое травление; монокристаллический кремний; глубокое травление; анизотропное травление; plasma chemical etching; monocrystalline silicon; seep etching; anisotropic etching
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	28.03.01
Speciality group (FGOS)	280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2117
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 1.6 Mb

1