Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Кочурина Е. С.; Анчутин С. А.; Калугин В. В.; Зарянкин Н. М.; Тимошенков А. С.; Дернов И. С.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Механика; Измерение механических и геометрических величин; акселерометры; микромеханические акселерометры; чувствительные элементы акселерометров; анизотропное травление; анизотропное жидкостное травление; сигма-дельта-преобразователи; кристаллографические плоскости; accelerometers; micromechanical accelerometers; accelerometer sensing elements; anisotropic etching; anisotropic liquid etching; sigma-delta converters; crystallographic planes
UDC	531.7
LBC	22.21
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-1-59-67
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=47983441