Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Моделирование и оптимизация емкостного МЭМС-датчика ускорения гребенчатого типа // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 4. — С. 452-460

Creators	Пайн Со Хту; Калугин В. В.; Кочурина Е. С.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Электроника в целом; МЭМС-датчики; микроэлектромеханические системы; емкостные МЭМС-датчики; моделирование МЭМС-датчиков; МЭМС-датчики ускорения; МЭМС-датчики гребенчатого типа; изменение емкости датчиков; MEMS sensors; microelectromechanical systems; capacitive MEMS sensors; simulation of MEMS sensors; MEMS-acceleration sensors; MEMS-comb type sensors; change in sensor capacity
UDC	621.38
LBC	32.85
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-4-452-460
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54314947

1