Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Громов Д. Г.; Гаврилов С. А.; Лебедев Е. А.; Силибин М. В.; Дубков С. В.; Аникин А. В.; Погалов А. И.; Дронова Д. А.; Бутманов Д. Д.; Ширяев М. Е.; Громов В. Д.; Рязанов Р. М.; Шарипов Р. А.; Беспалов В. А. Imprint 2023 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; тонкие пленки; состав тонких пленок; управление составом пленок; магнетронное распыление; реактивное распыление; фазосдвигающие фотошаблоны (физика); нитридизация; thin films; composition of thin films; film composition control; magnetron sputtering; reactive sputtering; phase-shifting photomasks (physics); nitridization UDC 539.2 LBC 22.37 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-6-745-761 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55172126