Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Лавров И. В.; Дронова Д. А.; Силибин М. В.; Аникин А. В.; Дубков С. В.; Лебедев Е. А.; Шарипов Р. А.; Вигдорович Е. Н.; Громов Д. Г. Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Геометрическая оптика. Оптические приборы; дифракционные эффекты; моделирование дифракционных эффектов; фазосдвигающие слои; фотолитография; фотошаблоны; фурье-оптика; контрастность; diffraction effects; modeling of diffraction effects; phase shifting layers; photolithography; photo templates; fourier optics; contrast ratio UDC 535.31 LBC 22.342 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2024-29-6-736-751 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75220369