Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Лавров И. В.; Дронова Д. А.; Силибин М. В.; Аникин А. В.; Дубков С. В.; Лебедев Е. А.; Шарипов Р. А.; Вигдорович Е. Н.; Громов Д. Г.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Геометрическая оптика. Оптические приборы; дифракционные эффекты; моделирование дифракционных эффектов; фазосдвигающие слои; фотолитография; фотошаблоны; фурье-оптика; контрастность; diffraction effects; modeling of diffraction effects; phase shifting layers; photolithography; photo templates; fourier optics; contrast ratio
UDC	535.31
LBC	22.342
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-6-736-751
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=75220369