Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Шевцов Михаил Андреевич Scientific adviser Титов Андрей Иванович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2016 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects ионная имплантация; инженерия дефектов; RBS/C анализ; радиационные дефекты; полупроводники; структурные нарушения в кремнии; ion implantation; defect engineering; RBS/C analysis; radiation defrcts; semiconductors; structural changes in silicon Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (OKSO) 210100 Speciality group (OKSO) 210000 - Электронная техника, радиотехника и связь DOI 10.18720/SPBPU/2/v16-2769 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.1 Mb