Electronic Documents Search

Documents found: 2

1

Исследование влияния плазменной обработки на свойства сформированных химическим осаждением из газовой фазы тонких пленок нитрида титана // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 6. — С. 715-722

Creators	Горностай-Польский В. С.; Шевяков В. И.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; нитрид титана; МДП-структуры; пленки нитрида титана; газовые фазы; химическое осаждение; свойства пленок нитрида титана; плазменная обработка; titanium nitride; TIR structures; titanium nitride films; gas phases; chemical deposition; properties of titanium nitride films; plasma treatment
UDC	621.382
LBC	32.852
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-6-715-722
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49993425

Формирование планарных автоэмиссионных приборов на основе углеродных нанотрубок на сплаве Co-Nb-N-(O) // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 6. — С. 723-739

Creators	Громов Д. Г.; Ерицян Г. С.; Кицюк Е. П.; Савицкий А. И.; Скорик С. Н.; Дубков С. В.; Гринаковский Е. Д.; Булярский С. В.; Дудин А. А.; Волкова Л. С.; Еганова Е. М.; Трифонов А. Ю.; Поляков М. В.; Орлов А. П.; Рудаков Г. А.; Светухин В. В.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; автоэмиссионные приборы; планарные автоэмиссионные приборы; углеродные нанотрубки; сплавы; электронная эмиссия; плазмостимулированное осаждение; газовые фазы; auto-emission devices; planar auto emission devices; carbon nanotubes; alloys; electronic issue; plasma-stimulated deposition; gas phases
UDC	621.382
LBC	32.852
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-6-723-739
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49993426

1