Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Многоуровневая металлизация высокотемпературных кремниевых ИС на основе вольфрама. Физика и технология: обзор // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 2. — С. 164-179

Creators	Тимаков А. В.; Горностай-Польский В. С.; Шевяков В. И.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; обзоры; интегральные схемы; кремниевые ИС; высокотемпературные ИС; многоуровневая металлизация; вольфрам; высококачественные межсоединения (радиоэлектрника); reviews; integrated circuits; silicon ICS; high temperature OF; multilevel metallization; tungsten; high-quality interconnects (radio electronics)
UDC	621.382
LBC	32.852
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-2-164-179
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=50767474

1