Electronic Documents Search
Documents found: 5
-
Creators Помозов Т. В.; Мурадымов М. З.; Ткач Е. А. Imprint 2023 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях; ионные источники; источники с коронным разрядом; тонкие диафрагмы (физика); фокусирующие системы; масс-спектрометры; транспортировка ионов; ионные пучки; ion sources; sources with corona discharge; thin diaphragms (physics); focusing systems; mass spectrometers; ion transport; ion beams UDC 537.533/534 LBC 22.338 Document type Article, report File type PDF Language Russian DOI 10.18721/JPM.16204 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.9 Mb -
Creators Подорожний О. В.; Румянцев А. В.; Волков Р. Л.; Боргардт Н. И. Imprint 2023 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях; имплантация галлия; распыление облучаемого материала; моделирование процессов распыления; ионные пучки; фокусированные ионные пучки; кремниевые подложки; нанотехнологии; gallium implantation; spraying of irradiated material; simulation of sputtering processes; ion beams; focused ion beams; silicon substrates; nanotechnology UDC 537.533/534 LBC 22.338 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-5-555-568 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54683298 -
Creators Лигачев А. Е.; Жидков М. В.; Колобов Ю. Р.; Потемкин Г. В.; Лукашова М. В.; Ремнев Г. Е.; Павлов С. К.; Тарбоков В. А. Imprint 2022 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; вольфрам; поверхность вольфрама; топография поверхности вольфрама; ионные пучки; импульсные ионные пучки; мощные импульсные пучки; растровая электронная микроскопия; tungsten; tungsten surface; tungsten surface topography; ion beams; pulsed ion beams; powerful pulse beams; scanning electron microscopy UDC 539.2 LBC 22.37 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.30791/0015-3214-2022-6-5-10 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50187793 -
Creators Румянцев А. В.; Боргардт Н. И. Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях; кремний; диоксид кремния; распыление кремния; ионные пучки; фокусированные ионные пучки; монокристаллический кремний; термический диоксид кремния; silicon; silicon dioxide; silicon spraying; ion beams; focused ion beams; monocrystalline silicon; thermal silicon dioxide UDC 537.533/534 LBC 22.338 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2024-29-1-30-41 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://elibrary.ru/item.asp?id=61486462 -
Creators Помозов Т. В.; Мурадымов М. З.; Ткач Е. А.; Явор М. И. Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Радиоэлектроника; Электровакуумные приборы; масс-спектрометры; дифференциальная откачка (электроника); ионные токи; транспортировка ионных токов; фокусирующие системы (электроника); ионные источники; ионные пучки; mass spectrometers; differential pumping (electronics); ion currents; ion current transportation; focusing systems (electronics); ion sources; ion beams UDC 621.385 LBC 32.851 Document type Article, report File type PDF Language Russian DOI 10.18721/JPM.17410 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.4 Mb
