Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Моделирование процесса распыления карбида кремния фокусированным пучком ионов галлия // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 4. — С. 463-474

Creators	Румянцев А. В.; Подорожний О. В.; Волков Р. Л.; Боргардт Н. И.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях; карбид кремния; распыление карбида кремния; ионы галлия; фокусированные пучки; метод Монте-Карло; Монте-Карло метод; ускоренные ионы; silicon carbide; silicon carbide spraying; gallium ions; focused beams; Monte Carlo method; method Monte Carlo; accelerated ions
UDC	537.534
LBC	22.238
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-4-463-474
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49396191

1