Последние поступления

Найдено документов: 109 659

Описание Дата поступления
5311 06.11.2024
5312 06.11.2024
5313 06.11.2024
5314 06.11.2024
5315 05.11.2024
5316 05.11.2024
5317 05.11.2024
5318 05.11.2024
5319 05.11.2024
5320
Буторин, П. С. Оптимизация условий возбуждения ксеноновой лазерной плазмы в источнике экстремального ультрафиолетового излучения для нанолитографии с целью повышения его эффективности = An optimization of conditions for excitation of xenon laser plasma in a source of extreme ultraviolet radiation for nanolithography in order to increase its efficiency / П. С. Буторин, С. Г. Калмыков. — 1 файл. — (Фотоника, нанофотоника и радиофотоника). — DOI 10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104. — Текст: электронный // Оптический журнал = Journal of optical technology: научно-технический журнал / Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова, Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики. – 2024. – № 5. — С. 95-104. — Загл. с титул. экрана. — Статья, представленная на первой Всероссийской научной конференции с международным участием "Невская фотоника - 2023". — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://eivis.ru/browse/issue/13699102/viewer?udb=12&page=97>.
05.11.2024