Последние поступления

Найдено документов: 190 507

№ Описание Дата поступления
66881 06.11.2024
66882 06.11.2024
66883 06.11.2024
66884 05.11.2024
66885 05.11.2024
66886 05.11.2024
66887 05.11.2024
66888 05.11.2024
66889 05.11.2024
66890
Буторин, П. С. Оптимизация условий возбуждения ксеноновой лазерной плазмы в источнике экстремального ультрафиолетового излучения для нанолитографии с целью повышения его эффективности = An optimization of conditions for excitation of xenon laser plasma in a source of extreme ultraviolet radiation for nanolithography in order to increase its efficiency / П. С. Буторин, С. Г. Калмыков. — 1 файл. — (Фотоника, нанофотоника и радиофотоника). — DOI 10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104. — Текст: электронный // Оптический журнал = Journal of optical technology: научно-технический журнал / Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова, Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики. – 2024. – № 5. — С. 95-104. — Загл. с титул. экрана. — Статья, представленная на первой Всероссийской научной конференции с международным участием "Невская фотоника - 2023". — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://eivis.ru/browse/issue/13699102/viewer?udb=12&page=97>.
05.11.2024